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技術參數：
u MAX大測量長度: 25mm
u 直線度測量精度: 0.4μm
u 濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），RC濾波器
u 截止波長: 0.25，0.8，2.5
u 測量重復性: 4%
u 相對示值誤差: ±7%
u 測量長度: λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）
u 測量范圍: 640μm
u 分辨率 ： 0.001μm
u 測量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s
u 返回速度： 1mm/s（自動）
u 測量方式：傳感器移動式
u 主機重量：約200Kg
u 主機尺寸：長（1600mm）х寬(700mm)х高 (1400mm)
